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時間:2020-12-06 19:15來源:EVO真人光電作者: 技術部點擊:打印
1. 軟件簡介
 
TSolidX基於實際半導體工藝和掩模版圖設計的3D建模軟件,借助易於使用的UI,可以提供三種類型的3D建模結構(實體模型,曲麵三角網格,3D四麵體網格)作為可在商業CAD,CAE,CAM軟件中使用的各種CAx格式數據。

1.1 應用領域
 
TSolidX能生成多種3D模型:
OLED像素結構;
PCB襯底設計;
散熱器結構;
生物醫學傳感器;
太陽能電池;
 
1.2 主要功能
 
內置布局編輯器,並且可以通過Skill語言界麵直接從其他商業布局運行;
高級mesh生成技術:用多樣的結構生成功能創建真實的結構;
可以定義各種堆棧信息和過程條件(厚度,台階覆蓋率,平麵度,錐度模型,非選擇性蝕刻,蝕刻阻擋層等),這些各種高級功能可以幫助生成準確的3D網格結構;
提供了蝕刻工藝選項,包括非選擇性蝕刻,蝕刻停止劑,濕法蝕刻功能,半色調掩模進行的部分蝕刻;
提供3種3D網格類型:錐形,錐形保形和曼哈頓;
附加布局程序,為“ TSolid Viewer”,可以識別GDS文件以及2D掩膜板設計;
有多種類型的CAx格式文件可用於導出數據:對於實體模型,提供了step和IGES格式,對於3D三角形網格,提供了STL, Stanford triangle, Nastran, alias/wavefront/autocad dxf等,為3D四方網格提供了Nastran,ansys,Gmsh,abaqus輸入格式,為滿足客戶的需求,也可以添加特定的格式文件;
提供自適應和非結構化網格算法,可以控製邊緣,表麵和體積條件;
通過使用變量功能可以非常輕鬆快捷地生成各種3D網格結構,可設置的變量參數:厚度,水平度(平麵化),錐角和寬度,CD餘量,圓角倒圓和移位距離;
支持分布式和並行計算方法
 
1.3 應用舉例
 
下圖顯示了帶有體積網格的太陽能電池的輸出文件,從正麵,側麵和俯視圖來看,該文件稱為3D四方網格。

 
執行變形分析

 
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